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高速晶圆传送设置装备摆设(SORTER/EFEM)

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  • 产物参数
高速晶圆传送设置装备摆设(SORTER/EFEM)
产物细致引见
长处:
 
ISO class 1 高速SCARA机器手加双牙叉、双对位器及双OCR,拣片传送服从极大化。
Aligner具特别softtouch软打仗的夹爪及对位器,可提供高度平安、无净化、高达50μ/0.03°的重现度。
具HEPA - High Efficiency Particulate Air Fan Filter Untis (FFU) 高效颗粒净化控制。
一机可相容8"及12"晶圆,改换尺寸仅需一小时。可用FOUP、FOSB、SMIF及cassette。
浅易人机介面,可灵敏设定运送规矩。
 
多种晋级选项:正面取放;翻转晶圆;传送特别晶圆(玻璃、超厚或超薄、穿孔或高度翘曲);双面ID读取;扩至4/5/6 port。

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